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?、賶鹤枋絺鞲衅鞯幕罱j系數比金屬應變式壓力傳感器的活絡度系數要大50-100倍。有的時分壓阻式傳感器的輸出不需要放大器就可直接進行測量。
?、谟捎谒x用集成電路工藝加工,因而結構尺度小,重量輕。
③壓力分辨率高,它可以檢測出像血壓那么小的微壓。
④頻率響應好,它可以測量幾十千赫的脈動壓力。
?、萦捎趥鞲衅鞯牧γ粼皺z測元件制在同一塊硅片上,所以它工作牢靠,概括精度高,且運用壽命長。
?、抻捎谶x用半導體材料硅制造,傳感器對溫度比較活絡,如不選用溫度補償,其溫度差錯較大。
壓阻式傳感器有兩種類型:一類是使用半導體材料的體電阻制成張貼式的應變片,形成半導體應變式傳感器;另一類是在半導體材料的基片上用集成電路工藝制成分散電阻,構成活絡元件,稱為分散型壓阻式傳感器。
壓阻式傳感器受溫度影響較大,會發作零位漂移和活絡度漂移,因而會發作溫度差錯。
壓阻式傳感器中,分散電阻的溫度系數較大,電阻值隨溫度改動而改動,故引起傳感器的零位漂移。
傳感器活絡度的溫漂是由于壓阻系數隨溫度改動而引起的。當溫度升高時,壓阻系數變小,傳感器活絡度要下降,反之,則活絡度升高。
零位溫漂一般可用串、并聯電阻的方法進行補償。
活絡度溫漂經過在電橋的電源回路中串聯二極管來補償。
別的,壓阻式傳感器也可將四個分散電阻接滿足橋,為了減小溫度的影響,可選用恒流源供電。
可見,電橋的輸出與電阻改動成正比,即與被測量成正比,也與電源電流成正比,輸出電壓與恒流源電流的巨細和精度有關,但與溫度無關,所以恒流源有很好的溫度補償作用。